主要零件材料

     阀体、阀盖、阀杆：铝合金、碳钢或不锈钢
     密封件：丁腈橡胶、氟橡胶、波纹管(轴封)。

主要性能指标

适用范围：
      1×10-6Pa～1.2×105Pa（波纹管密封）
      1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟胶圈密封）
打开时阀板上的压差：
      ≤1.2×105 Pa任意方向
      阀体和阀座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
      建议首次维修前循环次数：　200，000次
      阀体烘烤温度：≤150℃
安装位置
      -手动驱动：任意-气动驱动：任意
      -电磁驱动：任意（波纹管密封）；密封面朝向真空（氟胶圈密封）
电源
      -气动驱动：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊规格可定做）
      -电磁驱动：交流220V或230V 50Hz，起动功率800W、保持功率8W
压缩空气（只适用于气动）：0.4～0.7MPa
阀门开启和关闭时间

       -气动驱动：≤1s
       -电磁驱动：开启≤0.1s；
关闭≤1s（氟胶圈密封）、关闭≤0.5s（波纹管密封）
阀门位置指示
       -手动驱动：带有启闭位置指示
       -气动驱动：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
       -电磁驱动：带有开启位置指示灯